Die Strukturbreite ist eine Eigenschaft des Fertigungsprozesses bei Halbleitern und wird in Nanometer angegeben: die Kantenlänge der kleinsten Plotter-Einheit.  Bei der EUV-Lithografie werden vergrösserte Folien eingesetzt die von Plottern erstellt werden. Die kleinste Plotter-Einheit ist i.d.R. die Gate-Länge eines FET (Field Effect Transistor).  Die Strukturbreite (oder Strukturgrösse) ist ein Maskenmaß.  Die verringerte Strukturbreite (Die-Shrink) soll die Verlustleistung der Prozessoren verringern, bei erhöhter Taktzahl.